晶圆清洗应该使用什么样的91视频观看污下载机？
文章导读：晶圆（Wafer）清洗分为湿法清洗和干法清洗两种方式，91视频观看污下载属于后者，主要是去除晶圆表面肉眼看不到的表面污染物。晶圆的干式清洗应该使用什么样的91视频观看污下载机呢？
91视频观看污下载机对晶圆清洗的流程就是先将晶圆放入91视频观看污下载机的真空反应腔体内，然后抽取真空，达到一定真空度后通入反应气体，这些反应气体被电离形成等离子体与晶片表面发生化学和物理反应，生成可挥发性物质被抽走，清洁晶圆表面并使之具有亲水性。那么晶圆清洗所用的91视频观看污下载机在选择时有哪些该注意的地方呢？
一、腔体和托架要求
91视频观看污下载晶圆是在千级以上的无尘室中进行的，对particle的要求极高，任何超标的particle存在，都会造成晶圆不可挽回的缺陷。所以设计91视频观看污下载机的腔体首先一定要是铝质，而不是不锈钢材质；摆放晶圆的托架滑动部分，要尽量采用不容易产生粉尘和被等离子腐蚀的材料；电极和托架方便拆卸，便于日常维护。
二、电极间距和层数，以及气路分布要求
91视频观看污下载机反应腔体内的电极间距和层数，以及气路分布，对于晶圆处理的均匀性都重大的影响，这些指标都需要不断试验来优化。
三、电极板温度要求
91视频观看污下载晶圆的过程中，会产生一定的热量累积，处于工艺的需要，维持电极板的温度在一定范围是必要的，所以通常会给91视频观看污下载机的电极加上水冷。
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二、电极间距和层数，以及气路分布要求
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三、电极板温度要求
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四、摆放小技巧
多层电极的91视频观看污下载机产能比较高，可以根据需要每一层托架上摆放多片晶圆，比较适合于半导体分立器件、电力电子元器件专用4寸及6寸晶圆的光刻底膜去除等。
亲，如果您对91视频观看污下载机感兴趣或者想了解更多详细信息，欢迎点击91视频下载地址的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，91视频下载地址恭候您的来电！
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公司英文网站：www.plasmapls.com
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