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    1、满足无尘级别的要求,机壳材质和表面处理:铸铁喷塑、不锈钢钢镜面
    2、真空腔体即反应腔体的材质:石英玻璃、铝质和不锈钢
    3、电极结构:水平平板电极、水平柱状电极、垂直平板电极、垂直柱状电极,组合柜式电极即料盒式电极、带水冷或加热的电极、感应式电极等
     
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